Opis
Vakuum pumpe – od grubog do ultra-visokog vakuuma
Kobis isporučuje vakuum pumpe za sve razine tlaka i tipične primjene u tankoslojnoj tehnologiji, analitici i znanosti o materijalima.
U ponudi su:
Pumpe za grubi vakuum
Dry scroll, rotacijske i dry screw pumpe koriste se za inicijalno ispumpavanje sustava te kao predpumpe za visokovakuumske stupnjeve. Odlikuju se robusnim dizajnom i pouzdanim kontinuiranim radom.
Turbomolekularne pumpe
Omogućuju postizanje visokog i ultra-visokog vakuuma uz vrlo nisku razinu kontaminacije. Idealne su za PVD, ALD, sputtering i analitičke sustave gdje su čistoća procesa i stabilnost tlaka ključni.
Difuzijske i kriogene pumpe
Primjenjuju se u specifičnim aplikacijama gdje su potrebni iznimno niski tlakovi ili veliki kapaciteti ispumpavanja.
Svaka pumpa bira se prema volumenu komore, ciljanoj razini vakuuma, vrsti plinova i procesnim zahtjevima kako bi se osigurala optimalna brzina ispumpavanja i dugoročna stabilnost sustava.
Vakuumske komponente – CF, KF i ISO standardi
Za izgradnju kompletnog vakuumskog sustava Kobis nudi širok izbor standardiziranih komponenti:
CF (ConFlat) spojevi
Namijenjeni za visoki i ultra-visoki vakuum. Metalne brtve osiguravaju izuzetno nisku stopu propuštanja i visoku termičku otpornost, što ih čini pogodnima za zahtjevne znanstvene i procesne primjene.
KF (QF) spojevi
Brzi spojni sustav za niski i srednji vakuum. Idealni su za laboratorijske sustave i aplikacije gdje je potrebna česta montaža i demontaža.
ISO spojevi
Koriste se kod većih promjera cjevovoda i komora, posebno u industrijskim i proizvodnim sustavima.
“Vakuum Mart” obuhvaća cjelovitu paletu osnovnih vakuumskih proizvoda i komponenti koje su potrebne za izgradnju ili nadogradnju vakuumskog sustava, od spojeva do uređaja za kontrolu i mjerenje tlaka. U ponudi se nalazi više od 14 000 artikala koji omogućuju fleksibilnu konfiguraciju sustava i pouzdano funkcioniranje pri niskim tlakovima.
Feedthrough-i i viewports
Feedthrough-i omogućuju vakuumski brtvljen prolaz signala, energije i fluida kroz stijenku vakuumske komore — bez narušavanja vakuuma. To uključuje:
-
električne feedthrough-e za napajanje i signalne linije
-
fluidske i plinske feedthrough-e
-
mehaničke / motion vodove za manipulaciju uzorcima
-
optical feedthrough-e i viewports za optički pristup vakuumskom prostoru
Ovi elementi omogućuju kontrolu, mjerenje i manipulaciju unutar vakuuma bez narušavanja integriteta sistema.
Flanges & osnovne komponente
Ponuda uključuje standardizirane vakuumske flanše i komponente u najčešćim industrijskim standardima (CF, KF/QF, ISO, ASA), što omogućuje jednostavno povezivanje komora, cijevi, pumpa i ostalih uređaja:
-
niple, koljena, T-spojke i križevi za različite konfiguracije
-
adapteri i redukcije za spajanje različitih standarda ili dimenzija
-
elastomerni prstenovi i metalne brtve
-
quick couplings, o-ringovi, hardver (matice, vijci)
-
viewports i zatvarači za vizualni pristup
Ovi elementi omogućuju izgradnju modularnih vakuumskih instalacija s visokim stupnjem kompatibilnosti i ponovljivosti, uz minimalne gubitke tlaka.
Vakuumski ventili
U ponudi se nalaze različiti tipovi vakuumskih ventila za izolaciju, kontrolu protoka plina ili sekcioniranje sustava, uključujući:
-
gate (klizni) ventile
-
angle i inline ventile
-
butterfly ventile
-
pendulum i check ventile
-
regulacijski / conductance kontroleri
Ventili su dostupni u ručnim, pneumatskim i elektromehaničkim izvedbama, te su pogodni za širok raspon vakuumskih tlakova — od grubog do ultra-visokog vakuuma.
Manipulacija uzorcima i motion uređaji
Za napredne aplikacije, sustavima se mogu dodati komponente koje omogućuju mehaničku manipulaciju unutar vakuuma, kao što su:
-
translation devices (linearno pomicanje)
-
XYZ manipulacijske jedinice
-
rotacijski i wobble stick uređaji
Ovi elementi omogućuju preciznu kontrolu pozicije i orijentacije uzoraka unutar vakuumskih komora bez gubitka vakuuma.
Vakuumski spojevi, zaptivači i fluidi
Ponuda pokriva i:
-
vakuumske tekućine i masti za brtvljenje i podmazivanje komponenti
-
speicijalne vakuumske tekućine različitih viskoznosti
-
Fomblin® i Galden® vrste fluida za ekstremne uvjete
-
zamjene i potrošni artikli za dugoročno održavanje sustava
Ove tekućine i masti ključne su za pouzdan rad ventila, spojeva i rotirajućih komponenti u vakuumu.
Zaštitne komponente – traps & filters
Traps (hvatači) i filteri su važni za zaštitu vakuumskih komora i pumpi od kondenzata, para i krutih čestica koji nastaju tijekom procesa ispumpavanja. Oni pomažu:
-
zaštiti pumpi od štetnih produkata procesa
-
smanjenju onečišćenja unutrašnjosti komora
-
povećanju pouzdanosti i životnog vijeka sustava
Time se smanjuju kvarovi i neplanirani zastoje u radu.
Mjerači tlaka i kontrole
Mjerni uređaji pokrivaju kompletan vakuumski raspon, uključujući:
-
Pirani i termokružne mjerače
-
diaphragm i capacitance manometri
-
hot cathode i cold cathode
-
kontrolere tlaka i dodatni senzorski ulazi
Oprema omogućuje precizno praćenje i regulaciju tlaka, nužno za stabilan rad procesa i optimalne uvjete taloženja ili analize.
Tipične primjene
Komponente iz Vakuum Mart portfelja koriste se u:
-
dizajnu i izgradnji vakuumskih sustava
-
PVD, ALD i sputtering depozicijskim sustavima
-
istraživačkim komorama
-
analitičkim i laboratorijskim instrumentima
-
vakuumskoj automatizaciji i upravljanju tlakom
Ova oprema predstavlja osnovni “građevni materijal” za stabilan i pouzdan vakuumski rad na bilo kojoj razini — od temeljnog prototipa do složenih tehnoloških linija.