Opis
Prilagođena vakuumska rješenja
Kobis razvija vakuumske komore i kompletne sustave prema potrebama konkretne aplikacije. Umjesto “one-size-fits-all” pristupa, svaki projekt započinje analizom procesa, radnih tlakova, dimenzija uzoraka i planirane nadogradnje sustava.
Na temelju toga izrađuju se rješenja koja mogu uključivati:
-
istraživačke vakuumske komore
-
procesne komore za taloženje tankih slojeva
-
višekomorne sustave
-
load-lock module za brzu izmjenu uzoraka
-
okvirne (frame-mounted) sustave za proizvodna okruženja
Dizajn komora
Komore se izrađuju u različitim geometrijama i dimenzijama, ovisno o primjeni:
-
cilindrične ili pravokutne komore
-
komore s više portova za izvore taloženja, senzore i feedthrough-e
-
sustavi s integriranim viewports za vizualni nadzor procesa
-
konfiguracije prilagođene robotici ili automatizaciji
Posebna pažnja posvećuje se rasporedu portova kako bi se osigurala optimalna distribucija plinova, stabilno ispumpavanje i jednostavan pristup komponentama.
Integracija procesne opreme
Custom sustavi mogu uključivati potpunu integraciju:
-
vakuum pumpi i predpumpi
-
ventila i mjernih sustava
-
izvora za PVD, sputtering i evaporaciju
-
ALD reaktora
-
manipulacije uzoraka
-
električnih i fluidnih feedthrough-a
Time se dobiva funkcionalna cjelina spremna za rad, bez potrebe za dodatnim prilagodbama na lokaciji korisnika.
Modularna arhitektura
Sustavi su dizajnirani modularno, što omogućuje:
-
kasnije proširenje dodatnim komorama
-
dodavanje novih izvora taloženja
-
nadogradnju mjernih sustava
-
prilagodbu novim procesima
Ovakav pristup štiti investiciju i omogućuje razvoj sustava zajedno s vašim istraživačkim ili proizvodnim potrebama.
Stabilnost procesa i ponovljivost
Kod dizajna sustava naglasak je na:
-
stabilnoj kontroli tlaka
-
ponovljivosti procesnih parametara
-
minimalnoj kontaminaciji
-
jednostavnom održavanju
To je ključno za aplikacije gdje su debljina sloja, homogenost i ponovljivost rezultata presudni.
Podrška kroz cijeli projekt
Kobis pruža podršku tijekom svih faza:
-
definiranje tehničkih zahtjeva
-
projektiranje sustava
-
odabir komponenti
-
isporuka i konfiguracija
-
savjetovanje pri puštanju u rad
Cilj je isporučiti sustav koji je potpuno usklađen s vašom aplikacijom i spreman za dugoročni rad.
Tipične primjene
Vakuumske komore i custom sustavi koriste se u:
-
PVD, ALD i sputtering procesima
-
razvoju tankih filmova
-
znanosti o materijalima
-
mikro i nanoelektronici
-
optičkim i fotoničkim tehnologijama
-
baterijskim i energetskim istraživanjima
-
pilot i maloserijskoj proizvodnji